të
-Një/dy dyer
Korniza dhe dhoma janë prej çeliku inox karboni.
Çdo derë ofron një dritare inspektimi për kontrollin vizual të procesit.Muret e derës ofrojnë një shtresë çelik inox që hiqet lehtësisht për mirëmbajtje.
- Dhoma me vakum të personalizuar
Dhoma siguron veshje të brendshme prej çeliku inox që hiqen lehtësisht për pastrim.
Pompat qëndrojnë në pjesën e pasme të saj.
Dhoma ka një sërë fllanxhash të vogla për qëllimin e matjes.
-Sistemi i pompimit me vakum të lartë
Pompë difuzioni+Pompë përforcuese+Pompë mekanike
-Matje dhe kontroll me vakum
Me matës metali Pirani+Matës jonizimi metal
-Sistemi i lëvizjes së pajisjeve
- Njësia e kontrollit PLC
-Sistemi avullues alumini me transformator me fuqi te larte
- Kornizë hekuri
Struktura është e arsyeshme
Shtresa e filmit është uniforme
Cilësia e formimit të filmit
Shpejtësia e lartë e pompimit, cikli i shkurtër i punës dhe efikasiteti i lartë i prodhimit
Operacioni është i përshtatshëm
Konsumi i ulët i energjisë dhe performanca e qëndrueshme
Numri i modelit | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Dy dyer ose model me dy dhoma janë në dispozicion | |
Dimensioni i dhomës së vakumit (diametri*lartësia) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Materiali i dhomës së vakumit | Çeliku i karbonit, SUS304 ose SUS316L | ||||||
Teknologjia e punës | avullimi i rezistencës së vakumit me filamente tungsteni dhe alumini, transformator avullimi me fuqi të lartë | ||||||
Sistemi i pompimit | Pompë difuzioni + pompa mekanike, pompë përforcuese | ||||||
Koha e pompimit | Nga atmosfera në 5.0*10-2Pa më pak se 8 minuta | ||||||
Kufiri i vakumit | 5,0*10-4 Pa | ||||||
Temperatura e punës | Temperatura e dhomës | ||||||
Mënyra e punës | Modaliteti automatik ose manual, me ekran me prekje PLC 10,4 inç | ||||||
Fuqia totale | 40-80 kW | 70-140 kW | |||||
Gjurmë | 2*2 metra | 2*3 metra | 3*3 metra | 3*3 metra | 3*4 metra | 4*5 metra | 5*6 metra |
Këto njësi mund të bëhen me porosi | 1. Madhësia e dhomës së vakumit 2. Konfigurimet e pompave | ||||||
Instrumente opsionale | 1. Detektor i rrjedhjeve 3. Sistemi i depozitimit të joneve të harkut 4. Sistemi i spërkatjes Magntron |